Pelapis Putar Digital Otomatis dan Pelapis Putar Vakum untuk Pelapis Putar Laboratorium
AOT
Xiamen, Tiongkok
10-25 hari kerja
50 Set/Bulan
AOT-VTC-100A adalah pelapis putar kompak dengan chuck vakum yang dirancang untuk pelapisan mudah dan cepat melalui sol-gel untuk wafer hingga 4". Kecepatan putar bervariasi dari 500-8000 rpm dengan dua segmen yang dapat diprogram. Paket ini dilengkapi dengan aksesori lengkap untuk penggunaan langsung.
AOT-VTC-100A Automatic Digital Spin Coater dan Vacuum Spin Coater dirancang untuk wafer 4 inci dan substrat tidak beraturan. Pelapis putar digital otomatis dan pelapis putar vakum mengadopsi baki cairan polipropilena tahan korosi dan mangkuk penghisap vakum tiga tahap, dan mendukung kontrol kecepatan putar terprogram dua tahap dari 500 hingga 8.000 rpm, dengan akurasi ±1%. Pelapis putar digital otomatis dan pelapis putar vakum mengintegrasikan antarmuka pompa vakum bebas minyak dan dudukan jarum suntik yang dapat disesuaikan, cocok untuk viskositas bahan sol 0,5 hingga 5000cPs, waktu pelapisan tunggal 1 hingga 60 detik yang dapat disesuaikan. Standar dengan pita perekat dan opsi mangkuk penghisap mikro, kompatibel dengan substrat tidak beraturan 5 × 5mm hingga 10 × 10mm, keseragaman ketebalan film ± 2%. Berat mesin 15kg, ukuran 330 x 254 x 216mm, plug and play, untuk memenuhi kebutuhan laboratorium semikonduktor, MEMS dan film tipis optik untuk kebutuhan pelapisan yang efisien.
Parameter
Model Produk
AOT-VTC-100A
Struktur
Casing pengecoran aluminium agar tetap berputar dengan stabil
Cakram cair terbuat dari Polypropylene (PP) untuk menahan sebagian besar larutan korosif
Outlet drainase dan konektor pompa vakum ada di panel belakang
Satu filter disertakan dalam paket standar. Filter ini digunakan untuk menghubungkan pelapis untuk mencegah air limbah mengalir ke dalam pompa.
Satu pompa vakum tanpa minyak disertakan dalam paket standar. Silakan klik di sini untuk detail spesifikasi.
Ruang & Chuck Vakum
Diameter Ruang: 145 mm
3 set chuck vakum anti-korosi PP dengan o-ring chuck tersedia dalam berbagai ukuran (1'', 2'', dan 4'')
1 lembar pita perekat (6'' L x 24'' P) disertakan untuk melapisi substrat yang bentuknya tidak beraturan (misalnya Letakkan substrat yang tidak beraturan pada pita perekat, maka penyedot vakum akan menahan pita dengan cara menyedotnya)
Cangkir hisap mini tersedia untuk wafer kecil dengan diameter kurang dari 1" atau substrat dengan bentuk biasa (5x5, atau 10x10mm) atau tidak beraturan. Silakan klik di sini untuk memesan. dengan biaya tambahan. (lihat gambar di bawah kanan)
Pompa Vakum (Tidak termasuk)
Mulai 09/07/2022, Pompa Vakum Tanpa Minyak 120L/mnt tidak disertakan.
Pipa karet bermutu vakum disertakan untuk penggunaan langsung.
Kecepatan & Waktu Putaran
Panel kontrol digital dengan DUA segmen yang dapat diprogram untuk waktu dan kecepatan putaran yang berbeda
Kecepatan putaran: 500 - 8000 RPM
Waktu Putar: 1 - 60 detik
Penyuntikan Cairan
Spuit 20mL digunakan untuk menampung bahan pelapis
Tinggi dudukan jarum suntik dapat disesuaikan dan diputar secara bebas di sepanjang batang penyangga
Tegangan Masukan
Spin Coater: 24 VDC dengan adaptor daya 100 - 240 VAC, 150W
Pompa Vakum: 110VAC atau 220VAC, silakan pilih tegangan di bilah opsi (sekring 10A)
Tenaga Motor
Motor DC 24V dengan Daya Maks. 150W.
Dimensi Produk
330,2mm (P) x 254mm (L) x 215,9mm (T)
Berat
15 kg
Tampilan produk
Pelapis Putar Digital Otomatis dan Pelapis Putar Vakum untuk Pelapis Putar Laboratorium
Pelapis putar digital otomatis dan pelapis putar vakum AOT-VTC-100A, wafer khusus 4 inci, pemrograman dua tahap 500-8000 rpm, wadah penghisap vakum PP antikarat, kompatibel dengan pelapis sol-gel substrat tak beraturan, kontrol ketebalan film presisi tinggi kelas laboratorium, desain ringkas plug-and-play.
Pameran
AOT Pameran Peralatan Baterai Litium menyediakan platform yang komprehensif bagi para peserta pameran dan pengunjung untuk memamerkan, bertukar, bekerja sama, dan berdagang. Dengan berpartisipasi dalam pameran, perusahaan dapat memahami dinamika industri, memperluas saluran pasar, meningkatkan citra merek, dan mempromosikan inovasi teknologi serta peningkatan industri.
Sertifikat
Mitra koperasi
Tanya Jawab Umum
Q1: Bagaimana cara memasang substrat berukuran 3" atau ukuran nonstandar?
A: Gunakan pita perekat standar untuk menempelkan substrat ke mangkuk penghisap berukuran 4 inci atau mangkuk penghisap mini opsional yang disesuaikan (5x5mm hingga 10x10mm) untuk memastikan kestabilan lapisan melalui pemasangan vakum.
Q2: Bagaimana cara kerja pompa vakum bebas minyak jika pelapis putar kompak tidak disertakan?
A: Pompa vakum yang kompatibel (laju aliran yang disarankan ≥ 120L/menit) harus dibeli sebagai tambahan dan dihubungkan melalui antarmuka di bagian belakang unit untuk memastikan bahwa tingkat vakum adalah > -80kPa untuk memastikan penyerapan substrat yang stabil.
Q3: Apakah pelapis putar kompak cocok untuk sol dengan viskositas tinggi (>5000cPs)?
A: Pelapis putar kompak direkomendasikan untuk mengurangi kecepatan putaran menjadi 500-2000rpm dan memperpanjang waktu pelapisan hingga lebih dari 30 detik, dan jika perlu, panaskan terlebih dahulu sol hingga 25-30℃ untuk meningkatkan fluiditas.
Q4: Bagaimana cara membersihkan baki PP untuk menghindari kontaminasi silang?
A: Segera setelah pelapisan, bilas dengan air deionisasi. Untuk sistem pelarut organik, gunakan etanol untuk membersihkan secara ultrasonik selama 5 menit, dan jangan sekali-sekali menggunakan asam kuat dan alkali untuk menyeka.
Q5: Bisakah tempat jarum suntik disesuaikan dengan ukuran 50mL?
A: Tempat standar dapat menampung jarum suntik 20 mL. Untuk volume yang lebih besar, ketinggian tempat dapat disesuaikan dan diperbaiki secara manual, dan disarankan untuk menyuntikkan cairan dalam porsi kecil untuk memastikan keseragaman lapisan.
