AOT-VTC-100A adalah pelapis putar kompak dengan chuck vakum yang dirancang untuk pelapisan mudah dan cepat melalui sol-gel untuk wafer hingga 4". Kecepatan putar bervariasi dari 500-8000 rpm dengan dua segmen yang dapat diprogram. Paket ini dilengkapi dengan aksesori lengkap untuk penggunaan langsung.

Pelapis putar presisi tinggi AOT-TB-616, pengaturan kecepatan stepless 10000rpm, chuck vakum 4 inci untuk substrat 150 mm, keseragaman ketebalan film level 10 nm, pengiriman cepat dalam 10 hari kerja, solusi pelapisan untuk laboratorium dan industri.