Tungku tabung CVD dengan tiga zona pemanasan - Tungku tabung vakum tipe terbuka zona suhu tunggal OTF-1200X-S memiliki struktur berpendingin udara lapisan ganda. - Suhu permukaan badan tungku dijaga di bawah 60℃. - Tungku tabung dengan sistem pemompaan terbuat dari serat mikrokristalin alumina dengan kemurnian tinggi menggunakan adsorpsi vakum suhu tinggi. - Sisipan program kawat tahan pemanas yang diimpor memperpanjang masa pakai badan tungku tabung suhu tinggi.